NS3500 Solar 半导体晶圆质量检测系统

简要描述：NS-3500 Solar 是一种可靠的半导体晶圆检测系统。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有各种解决方案。

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NS3500 Solar 半导体晶圆质量检测系统

NS-3500 Solar 是一种可靠的半导体晶圆检测系统。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，可以为半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等提供各种解决方案。

Features & Benefits（性能及优势）：

Application field（应用领域）：

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如

-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案

-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析

Specifications(规格）:

Model	Microscope NS-3500 Solar					备注
物镜倍率		10x	20x	50x	100x
观察/ 测量范围	水平 (H): μm	1400	700	280	140
	垂直 (V): μm	1050	525	210	105
工作范围: mm		16.5	3.1	0.54	0.3
数值孔径(N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95
光学变焦		x1 to x6
总放大倍率		178x to 26700x
观察/测量光学系统		Pinhole共聚焦光学系统
高度测量	测量扫描范围	400 um				注 1
	显示分辨率	0.001 μm
	重复率 σ	0.010 μm				注 2
帧记忆	像素	1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
	单色图像	12 bit
	彩色图像	8-bit for RGB each
	高度测量	16 bit
帧速率	表面扫描	20 Hz to 160 Hz
	线扫描	~8 kHz
激光共焦测量光源	波长	405nm
	输出	~2mW
	激光等级	Class 3b
激光接收元件		PMT (光电倍增管)
光学观察光源	灯	10W LED
光学观察照相机	成像元件	1/2" 彩色图像 CCD 传感器
	记录分辨率	640x480
	自动调整	增益, 快门速度, White balance
数据处理单元		PC
电源	电源电压	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	电流消耗	500 VA max.
重量	显微镜	Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg)
	控制器	~8 kg
隔振系统		气浮光学平台隔振系统				Option

注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。

注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量。

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