拉曼电镜联用系统行业变革

　　拉曼电镜联用系统出现带来行业全新变革，它通过方便、高性能的拉曼分析，弥补了传统电镜和能谱分析能力的不足。尤其是针对有机结构解析、碳结构解析、无机相鉴定、同分异构分析、结晶度分析等领域实现了重大突破，扩展了扫描电镜的分析应用领域，能够全面分析，应用前途一片光明。

　　其实，电镜-拉曼的联用概念并不新鲜，早在十年多前，就有拉曼厂商开始在扫描电镜上安装拉曼光谱仪，实现初步联用。不过由于技术和适用性的限制，拉曼联用技术未能获得成功，在电镜上配备拉曼联用的*，甚至很多人都未知晓SEM和拉曼的联用，究其根本原因，还在于传统的拉曼联用技术有着非常严重的技术障碍。
 

　　拉曼电镜联用系统有别于传统的联用系统，它并不是简单的将两个独立的仪器拼凑到一起，要使得它具有较高的实用性，需要对原来各自的仪器的硬件和软件都进行改进和新的设计。原先系统的共轴式设计有太多的缺点，很难在实用性上达到令人满意的要求，所以在设计开发全新的拉曼电镜联用系统时摒弃了共轴式设计的方案，而采用了平行轴式设计，即电子束和激光束不重合，而是两者相平行。

　　这样做首先不影响电镜各种探测器工作的需要，而拉曼也保留了包括物镜在内的全部光学装置，这样和普通独立的拉曼在硬件上保持一致，也保证了拉曼信号的采集效果。特殊的样品台负责试样在电子束下和激光束下的切换传输。该样品台定位极其精准，可以确保试样能够在两个分析束下的精准定位。此外，为了确保电子束和拉曼激光束的重合，还专门开发了相关校准技术。